對於有害氣體之處理方法主要以化學吸收為主。

其原理為藉由氣液兩相接觸之氣體吸收程序，將氣體中之溶質吸收輸送至液體內部。

內部洗滌裝置有：:
１、噴淋塔 (spary column)
２、板式吸收塔 (plate absorption tower)
３、填充塔 (packed tower)…等。

必須能使氣體與液體充分接觸，以提高吸收效率，國內許多電子廠及許多產業也多以使用濕式洗滌塔來作處理酸性，鹼性氣體，汞氣體，戴奧辛之防制設施。