對於有害氣體之處理方法主要以化學吸收為主。
其原理為藉由氣液兩相接觸之氣體吸收程序,將氣體中之溶質吸收輸送至液體內部。
內部洗滌裝置有:: 1、噴淋塔 (spary column) 2、板式吸收塔 (plate absorption tower) 3、填充塔 (packed tower)…等。
必須能使氣體與液體充分接觸,以提高吸收效率,國內許多電子廠及許多產業也多以使用濕式洗滌塔來作處理酸性,鹼性氣體,汞氣體,戴奧辛之防制設施。