科群科技
 
一般排氣系統 酸鹼排氣系統(濕式洗滌塔)
粉霧/高效率洗滌塔 有機排氣系統
特殊氣體 袋濾集塵機設備
靜電處理系統    
特殊氣體

針對一般電子廠業所產生之氣體包括劇毒性、爆炸性、腐蝕性、發火性物質的化學濕式及乾式處理。

代表性的氣體如下:
AsH3/B2H6/H2Se/Cl2/TEOS/HCl/HBr/NF3/NH3/PH3/SF6/SiH2Cl/SiH4/HF/
HCN/H2SO4;酸性例如:鹽酸、氟酸、硝酸、硫酸、鹵族化合物(C12、HC1、HBr …等);鹼性例如:氨、有機氨、NMP;著火性如:矽甲皖;極毒性如:砒霜、AsH3、PH3、NF3。

靜電處理系統  

 


靜電機系列主要除了標準型靜電機功能外清洗功能。

在低壓收集板附著油污時,能夠利用清洗裝置清洗極板。

此系列靜電機機箱內搭配多組高壓噴洗頭,加入清洗劑後可以人工按鍵操作或經PLC自動設定清洗週期,於清洗時將自動注入清水,並經由泵浦加壓形成水霧狀令清洗劑分佈於極板上,以洗去油污 。再經二次以上清水循環清洗,再將水排放之。