对于有害气体之处理方法主要以化学吸收为主。

其原理为藉由气液两相接触之气体吸收程序，将气体中之溶质吸收输送至液体内部。

内部洗涤装置有：
１ 、喷淋塔 (spary column)
２、板式吸收塔 (plate absorption tower)
３、填充塔 (packed tower)…等。

必须能使气体与液体充分接触，以提高吸收效率，国内许多电子厂及许多产业也多以使用湿式洗涤塔来作处理酸性，碱性气体，汞气体，戴奥辛之防制设施。