科群科技
 
一般排气系统 酸碱排气系统(湿式洗涤塔)
粉雾/高效率洗涤塔 有机排气系统
特殊气体 袋滤集尘机设备
静电处理系统    
特殊氣體

针对一般电子厂业所产生之气体包括剧毒性、爆炸性、腐蚀性、发火性物质的化学湿式及干式处理。

代表性的气体如下:
AsH3/B2H6/H2Se/Cl2/TEOS/HCl/HBr/NF3/NH3/PH3/SF6/SiH2Cl/SiH4/HF/ HCN/H2SO4;酸性例如:盐酸、氟酸、硝酸、硫酸、卤族化合物(C12、HC1、HBr …等);碱性例如:氨、有机氨、NMP;着火性如:硅甲皖;极毒性如:砒霜、AsH3、PH3、NF3 。

静电处理系统  

 


静电机系列
主要除了标准型静电机功能外清洗功能。

在低压收集板附着油污时,能够利用清洗装置清洗极板。

此系列静电机机箱内搭配多组高压喷洗头,加入清洗剂后可以人工按键操作或经PLC自动设定清洗周期,于清洗时将自动注入清水,并经由泵浦加压形成水雾状令清洗剂分布于极板上,以洗去油污 。再经二次以上清水循环清洗,再将水排放之。